为防止洁净厂房内各种生产过程产生的各类粉尘、有害气体、有害物质在洁净室内扩散，Z有效的方法是在有害物质产生的设备处，采用局部排风方式将污染物质排出室外。
洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。设置局部排风装置，应考虑粉尘、有害气体、有害物质的不同性质、不同浓度等因素。
a.排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。
含有易燃易爆的局部排风系统，应采用与排出物质相适应的防火、防爆措施；
排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时，应进行无公害处理，达标后才能排入大气。
对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，排放口应有一定坡度，以便及时排除凝结液。
洁净厂房内的换鞋、存外衣、洗浴、厕所和淋浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值应低于洁净室；
事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。
一般对于有可能散发有害气体或易燃、易爆气体的洁净室（区）应设事故排风装置
排出一般废气，无需处理，可直接排放，如生产辅助用室、生活用室（值班室、卫生间等）排出的废气；
当有机气体浓度能达到国家规定的大气排放标准时，可直接排放，不需设置废气处理装置；
当有机气体浓度超过国家规定的大气排放标准时，应设置有机气体排放装置，达标后方可排放；
湿法化学腐蚀、酸液清洗实验室等的排风，应设湿式洗气吸收塔进行处理，达标后排入大气。
设计时根据酸性气体的类型、浓度选用合适的吸收液和吸气塔形式。
即便排气含碱性物质浓度较低，也应进行净化处理后方可排入大气，其净化处理通常与酸性气体排风类似，采用湿式洗气吸收塔（吸附剂一次性使用，使用后进行集中处理，通常作为固体废弃物在城市垃圾场集中处理）
排气量小或不便进行处理时，可采取必要的隔热措施后，直接排入大气。
应根据排气中的粉尘性质、浓度选用除尘装置，一般采用布袋除尘器或带过滤元件的过滤装置
对含尘浓度很高的排风系统，应根据工艺具体情况，可设置二级除尘装置：先去除大部分粉尘后，再送入布袋或过滤除尘装置进行二级过滤，达标后排放。
在半导体集成电路生产中常需使用一些特殊气体，其中许多气体属易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体
S先应按特殊气体的品种、性质划分排放系统，以防止在排放系统中产生化学反应；
其次选用专用的废气处理装置，处理方法有稀释法、吸收法、催化燃烧法、吸附法等；
说明：排放系统的设备、管道的材料选用必须根据排气中的特殊气体性质选择材质，以防止与特殊气体发生反应。
在生产或分装青霉素等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、有毒药物的房间、二类危险度以上病原体操作区的排风口，应安装高效过滤器，使这些药物引起的污染危险降低到Z低限度。
此类排风系统排入大气的风口与其他药品生产用净化空调系统的新风口应相隔一定距离。
洁净室内排风系统的处理设备、风管、附件等的制作材料、保温材料和涂料，应根据排出气体的性质及其所处的空气环境等确定。
①排风系统的风管应采用不燃材料，如碳钢、不锈钢、有色金属等金属板材；
②排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐蚀的难烧材料或难燃材料（如氧指数≥32的玻璃钢等）。
③附件、保温材料、消声材料和涂料等均采用不燃材料或难燃材料。
④排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于0.5h。
当多套洁净空调系统同时运行时，由于净化空调新风比一般不大，可集中处理新风，以节省设备投资和占地面积。
①过滤级数：通常新风进行多级过滤处理，常用三级过滤，即新风经粗效、中效、亚高效过滤处理。
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